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NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀的詳細資料:
NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀是一種手動的非接觸式三維輪廓儀,適用於任何表麵。其設計簡單,忠實於基本功能。Nanosystem利用自己的patented算法和白光幹涉技術創造H/W和S/W。Patented的WSI/PSI技術測量各種表麵材料和參數,包括表麵紋理、形狀、台階高度和更高(0.1nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)的二維和三維剖麵。
白光掃描幹涉技術(WSI)是一種測量高分辨率(0.1nm)、高速測量表麵積、高度和體積的技術。在不破壞任何破壞的情況下,納米係統的WSI技術(白光掃描幹涉法)能在幾秒鍾內從0.1nm到10000μm範圍內測量樣品,並提供真實的樣品三維形狀。此外,重複性小於0.1%(1σ),無論放大,z軸分辨率為0.1nm。基於納米係統技術的精度(高精度、重複性和重複性),該產品可廣泛應用於半導體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學部件、生物、R&D等領域。
NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm)、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像,在0.1nm至10000 μm範圍內,在2秒內測量樣品,提供真實的2D/3D樣品形貌,無需準備(隻需將樣品直接放在樣品台上),測量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%)。
NV-1800的優點
· 優良的測量精度
· 無需振動台麵
· 抗振動的緊湊設計
· 快速測量速度
· 友好的測量界麵
· 全手動操作
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌測量- 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)
· 高度,深度,寬度(從亞納米到10)·
· 麵積信息(體積,麵積)-2D, 3D Measurement
產品規格:
· 幹涉物鏡:單透鏡可選
· 掃描範圍:0-180um(270um可選)
· 垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
· 傾斜台:±3°
· Z軸行程:30mm(手動)
· 工作台麵:50X50mm(手動)
應用領域:
Nano View係列為LCD(液晶顯示器)、IC Package(芯片封裝)、Substrate(基板)、Build-up PCB(積層板)、MEMS(微機電係統),Engineering Surfaces(工程表麵)等等領域提供納米級別精度的量測。
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