Nanosystem NV-2400 3D輪廓儀是一款適用於各種表麵的快速非接觸式三維輪廓儀。XY自動平台，而Z軸是手動的。納米係統主要是為R&D、高校和過程管理用戶而設計。Nanosystem用自己Patented算法和白光幹涉技術創造硬件和軟件。它可以通過拚接函數測量大視場(500mm²)。Patented WSI/PSI技術測量各種表麵材料和參數，包括表麵紋理、形狀、台階高度和更高的二維和三維剖麵(0.1 nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)。Patented WSI/PSI技術測量各種表麵材料和參數，包括表麵紋理的2D和3D輪廓，形狀，台階高度及以上(0.1nm-垂直和0.2微米-橫向分辨率)。

白光掃描幹涉技術(WSI)是一種測量高分辨率(0.1nm)、高速測量表麵積、高度和體積的技術。在不破壞任何破壞的情況下，納米係統的WSI技術(白光掃描幹涉法)能在幾秒鍾內從0.1nm到10000米範圍內測量樣品，並提供真實的樣品三維形狀。此外，重複性小於0.1%(1σ)，無論放大，z軸分辨率為0.1nm。基於納米係統技術的精度(高精度、重複性和重複性)，該產品可廣泛應用於半導體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學部件、生物、R&D等領域。

Nanosystem NV-2400 3D輪廓儀​提供高分辨率(0.1nm)、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像，在0.1nm至10000 m範圍內，在2秒內測量樣品，提供真實的2D/3D樣品形狀，無需準備(隻需將樣品直接放在舞台上)，測量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%)。

NV-2400的優點

·       優良的測量精度

·       抗振動設計

·       快速測量速度

·       友好的測量界麵

·       Stitching功能

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)

·       高度，深度，寬度(從亞納米到10mm)·

·       麵積信息(體積，麵積)

·       2D和3D 測量

產品規格

·       幹涉物鏡：5個物鏡可選

·       掃描範圍：0-180um（270um，5mm可選）

·       垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

·       傾斜台：±6°

·       Z軸行程：100mm（手動）

·       工作台麵：100X100mm（程控)