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Nanosystem NV-2400 3D輪廓儀的詳細資料:
Nanosystem NV-2400 3D輪廓儀是一款適用於各種表麵的快速非接觸式三維輪廓儀。XY自動平台,而Z軸是手動的。納米係統主要是為R&D、高校和過程管理用戶而設計。Nanosystem用自己Patented算法和白光幹涉技術創造硬件和軟件。它可以通過拚接函數測量大視場(500mm2)。Patented WSI/PSI技術測量各種表麵材料和參數,包括表麵紋理、形狀、台階高度和更高的二維和三維剖麵(0.1 nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)。Patented WSI/PSI技術測量各種表麵材料和參數,包括表麵紋理的2D和3D輪廓,形狀,台階高度及以上(0.1nm-垂直和0.2微米-橫向分辨率)。
白光掃描幹涉技術(WSI)是一種測量高分辨率(0.1nm)、高速測量表麵積、高度和體積的技術。在不破壞任何破壞的情況下,納米係統的WSI技術(白光掃描幹涉法)能在幾秒鍾內從0.1nm到10000米範圍內測量樣品,並提供真實的樣品三維形狀。此外,重複性小於0.1%(1σ),無論放大,z軸分辨率為0.1nm。基於納米係統技術的精度(高精度、重複性和重複性),該產品可廣泛應用於半導體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學部件、生物、R&D等領域。
Nanosystem NV-2400 3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm)、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像,在0.1nm至10000 m範圍內,在2秒內測量樣品,提供真實的2D/3D樣品形狀,無需準備(隻需將樣品直接放在舞台上),測量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%)。
NV-2400的優點
· 優良的測量精度
· 抗振動設計
· 快速測量速度
· 友好的測量界麵
· Stitching功能
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌測量
· 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)
· 高度,深度,寬度(從亞納米到10mm)·
· 麵積信息(體積,麵積)
· 2D和3D 測量
產品規格
· 幹涉物鏡:5個物鏡可選
· 掃描範圍:0-180um(270um,5mm可選)
· 垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
· 傾斜台:±6°
· Z軸行程:100mm(手動)
· 工作台麵:100X100mm(程控)
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