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Suragus Eddy-Cus TF LAB2020
更新時間:2020-08-20
產品型號:
描述:Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用渦電流檢測技術,適用於建築鍍層玻璃,觸控屏顯示器、OLEDLED、防靜電透明箔,光伏、半導體製程之晶圓等金屬層厚度、電阻值(Sheet resistance)、導電率量測,不同頻率的sensor搭配,提供更寬廣的金屬厚度量測範圍。產品種類包括便攜式手持設備,手動及半自動桌上型設備,以及結合自動化作在線實時檢測之方案。

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020的詳細資料:

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020​

德國Suragus專門為非破壞性材料測試提供解決方案。Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用渦電流檢測技術,適用於半導體製程之晶圓金屬層厚度、電阻值(Sheet resistance)、導電率量測,不同頻率的sensor搭配,提供更寬廣的金屬厚度量測範圍。產品種類包括便攜式手持設備,手動及半自動桌上型設備,以及結合自動化作在線實時檢測之方案。

Suragus Eddy-Cus TF LAB2020金屬層量測應用

沉積(CVD,PVD,電鍍...)
晶圓蝕刻、拋光、(去)氧化

 

 

設備特性:

  • 非接觸實時量測,不損傷產品表麵。
  • 量測結果可輸出高分辨率之圖檔以分析金屬層均勻度。
  • 可以執行產品金屬層的電阻值單點測量或mapping。
  • 不受接觸麵電阻影響,提供高精度的測量。
  • 測量方式穩定,高重複性測量。
  • 可做極薄金屬層之測量2nm~2mm。
  • 軟件提供簡易之操作接口及數據分析功能。
  • 可結合在線量測(In-line)。

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