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EddyCus TF inline在線電阻率監測係統
更新時間:2020-08-20
產品型號:
描述:EddyCus TF inline在線電阻率監測係統適用於非真空環境和非真空環境下薄膜、玻璃等電阻率的測量。采用移動式或固定傳感器,非接觸麵地檢測樣品的電阻率。

EddyCus TF inline在線電阻率監測係統的詳細資料:

EddyCus TF inline在線電阻率監測係統

 

EddyCus TF inline在線電阻率監測係統一款適合薄膜電阻率在線監測,動態檢測產品質量,實時測量產線上薄膜麵電阻(方塊電阻)及薄膜厚度測量的解決方案。

 

特點

非接觸與實時測量準確測量高度可變性和靈活性在真空內-和真空外的解決方案固定傳感器和穿越式解決方案單線和多線解決方案高達每秒1000次的高采樣率

參數

薄膜電阻(歐姆/平方)
金屬層厚度(nmμm
金屬基板厚度(μm
各向異性
缺陷
完整性評定
 

應用
建築玻璃(LowE
觸摸屏和平板顯示器
OLEDLED應用
智能玻璃的應用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導體
除冰和加熱應用
電池和燃料電池
包裝材料

材料
金屬薄膜和柵格
導電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT(碳納米管)、石墨
打印薄膜
導電聚合物(PEDOT:PSS
其他導電薄膜及材料

規格參數
薄膜電阻測量技術:非接觸式渦流傳感器
基板:例如:薄膜、玻璃、晶圓,等等
測量間隙尺寸:5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
傳感器對數 / 監控線數:1 - 99
傳感器尺寸 (W x L x H)
M 型傳感器:80 x 100 x 66 mm
S 型傳感器:34 x 48 x 117 mm
導電層:金屬/ TCOs/ CNTs/ 納米線/ 石墨烯/ 柵格/ PEDOT/其它

薄膜電阻的範圍:
低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
標準    0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
高      10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精度

金屬膜的厚度測量(例如:鋁、銀、鉬、銀漿):2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
其它集成的測量:金屬厚度/光透明性/密度/電性各向異性
環境:在真空外/在真空內 @ T < 60°C / 140°F (根據要求 <90°C / 194°F)
采樣率:1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量每秒
硬件觸發:5, 12, 24 V
界麵:UDP、DOT Net librariesTCPModbus、模擬/數字

 

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